纳米化学技术论文和信息图书馆

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Nanochem技术图书馆包含技术资源的部分清单,包括分析效果,工艺应用和对最终产品(如晶圆和器件)的演示影响。

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气体净化技术资料

下表列出了关于纳米化学净化器材料类型的技术论文、海报和出版物。该列表根据不同气体类型和应用程序的使用情况分为组。这里列出的项目包括部分清单

净化器材质类型(Metal-X, NHX, OMX等)列于左侧,出版物名称列于右侧。单击出版物名称以查看和/或下载副本。

联系净化器专家其他与您的应用程序和兴趣相关的技术信息列在这里。

腐蚀性气体净化

CleanCorr 选择性蚀刻工艺用无水氟化氢:水和金属杂质的测量和控制
Metal-X NANOCHEM®Metal-X™腐蚀性气体净化
Metal-X 高压POU净化腐蚀性气体
Metal-X 腐蚀性气体中微量水分的测量与控制
Metal-X RPCVD硅外延的水分要求
Metal-X 一氧化碳过程中的污染控制
Metal-X 一种新型净化器去除腐蚀性气体中的挥发性金属
Metal-X 净化器技术进展:从HCl和CO腐蚀气体中去除挥发性金属配合物和水分
Metal-X 新型腐蚀性气体净化器提供了改进的水分性能和挥发性金属配合物的去除
Metal-X SemiCon West 2001 -用一个新的净化器去除腐蚀性气体中的挥发性金属

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净化的氢化物

ASX-II 高纯砷和砷化镓脱毛剂的表征
PHX 超高压PH3中微量水分污染的测量和控制技术
PHX 影响MOCVD工具中电子级膦纯度的因素
澳交所、NHX PHX V族氢化物气体及输气系统中氧杂质的检测与控制
OMX PHX,
澳交所,ASX-II
GaAS和InP MOVCD工艺的综合污染控制综述
OMA 商用氨净化器的评价
OMA 利用可调谐二极管激光光谱法检测氨中的微量水分
OMA NHX,
NHX-plus, In2Go
杂质的鉴别和定量对氮化物的性能至关重要
NHX、NHX-plus In2Go 氢化物气体中的杂质第1部分
NHX、NHX-plus In2Go 氢化物气体中的杂质第2部分
NHX-plus 半导体工业用超高纯度氨中微量二氧化碳的测量与控制
NHX-plus 氨中的水分对LED器件性能的影响

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净化的
Non-Methane碳氢化合物

HCX 工艺气体中去除碳氢化合物的新型净化器材料

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焊接气体净化

OMX 焊枪软管材料对保护气体质量的影响
OMX 铝焊接中的气孔
OMX 使用正确的焊接气体
OMX 保护气体质量提高焊缝质量
OMX In2Go WeldAssure Nanochem——焊接

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气体净化在减排中的应用

Ultimasorb MOCVD加工消减技术的发展

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脱硫

GuardBed 介绍GuardBed资讯
GuardBed 脱硫材料、性能和应用概况
GuardBed 烃类脱硫产物
GuardBed 天然气产品
GuardBed 交钥匙脱硫/净化解决方案
GuardBed 液体燃料产品
GuardBed 烃进料流与防护床产品交叉参考表

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净化

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使用纳米化学气体净化器的行业

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